ＤＦＯ軸受は内外輪、玉、保持器に低蒸気圧炭化水素油焼付け膜（Ｅ−ＤＦＯ）を形成させ、クリーンでかつ長寿命の特性を併せ持った、新しいコンセプトの軸受です。
大気〜真空のクリーン環境に適します。 |
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| ■お問い合わせ番号 |
Ｅ−ＤＦＯ軸受：□□□□ＬＺＺ−ＨＦＤ４
Ｖ−ＤＦＯ軸受：□□□□ＬＺＺ−ＨＦＤ
（□□□□は、軸受基本番号が入ります）
軸受基本番号範囲
６８４〜６８９、６９４〜６９９、６０４〜６０９、６２４〜６２９
Ｒ６
６８００〜６８０６、６９００〜６９０６、６０００〜６００８、６２００〜６２０８ |
■製品仕様
| 構造 |
Ｅ−ＤＦＯ |
Ｖ−ＤＦＯ |
| シールド形 |
シールド形 |
| 仕様 |
外内輪 |
マルテンサイト系
ステンレス鋼＋Ｅ−ＤＦＯ |
マルテンサイト系
ステンレス鋼＋Ｖ−ＤＦＯ |
| 玉 |
マルテンサイト系
ステンレス鋼＋Ｅ−ＤＦＯ |
マルテンサイト系
ステンレス鋼＋Ｖ−ＤＦＯ |
| 保持器 |
ステンレス鋼＋Ｅ−ＤＦＯ |
ステンレス鋼＋Ｖ−ＤＦＯ |
| 潤滑 |
ＮＳＫクリーン潤滑剤
Ｅ−ＤＦＯ |
ＮＳＫクリーン潤滑剤
Ｖ−ＤＦＯ |
| シールド |
オーステナイト系ステンレス鋼 |
オーステナイト系ステンレス鋼 |
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■使用環境
大気、真空環境（〜１０-7Ｐa）、クリーン環境（クラス１０対応） |
■用途
液晶・半導体製造装置、ハードディスク製造装置、太陽電池製造装置、真空ロボット |
■使用上の注意点、留意点
- 軸受の包装は、使用直前に開封してください。
- 軸受の長期間の保存は避けてください。
- 取扱いは、清浄な手袋等を使用してください。
- 本軸受は洗浄せずにそのままご使用ください。
- 油分・水分を付着させないでください。
- 許容荷重および許容回転数は、カタログを参照してください。
- クリーン度は、使用条件・周囲の構造等によって異なります。
- カタログに記載されている性能値や表現は、軸受選定の目安となるもので保証値ではありません。
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■特長
- 従来のふっ素被膜品より長寿命。
- ＭｏＳ２系固体潤滑品より低発塵、低アウトガス。
- 金属成分を含む潤滑剤（例えばＭｏＳ２）が適さない場合にも対応。
- 大気〜１０−７Ｐａ（常温）まで対応。ただし、使用温度により対応できる真空度が異なります。
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■性能
●Ｅ−ＤＦＯとＶ−ＤＦＯ対応環境の比較
| 条件 |
Ｅ−ＤＦＯ |
Ｖ−ＤＦＯ |
| 腐食ガス |
× |
○ |
| 真空 |
◎（〜１５０℃） |
○（〜１５０℃） |
| 大気 |
◎（〜５０℃） |
◎（〜２００℃） |
| 許容荷重 |
◎（〜５％） |
○（〜２％） |
●真空中での耐久性
- Ｅ−ＤＦＯは、従来のふっ素グリースの１０倍程度です。
- Ｖ−ＤＦＯは、従来のふっ素被膜軸受の４倍以上です。
●高温でのアウトガス特性
優れたアウトガス特性。 |