日本精工（株）スペーシア^™軸受＞ＹＳタイプ　自己潤滑保持器軸受（ＭｏＳ_２系）

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新自己潤滑保持器材料の開発により、クリーン・長寿命を実現した軸受です。 大気〜真空のクリーン環境に適します。

■お問い合わせ番号

□□□□ＬＺＺ−ＨＭＳＴ４ 　　　（□□□□は、軸受基本番号が入ります） 　軸受基本番号範囲 　　６８４〜６８９、６９４〜６９９、６０４〜６０９、６２４〜６２９ 　　Ｒ６ 　　６８００〜６８０６、６９００〜６９０６、６０００〜６００９、６２００〜６２０８

■製品仕様 構造 　シールド形 仕様 　外内輪 　マルテンサイト系ステンレス鋼 　玉 　マルテンサイト系ステンレス鋼 　　　　　　　　　　　　　＋ＭｏＳ２被膜 　保持器 　自己潤滑材 　潤滑 　固体潤滑（ＭｏＳ２系） 　シールド 　オーステナイト系ステンレス鋼

■使用環境 　　大気、真空環境（〜１０-7Ｐa）、クリーン環境（クラス１００対応）、 　　高温環境（〜２００℃）

■用途 　　蒸着装置、スパッタ装置、エッチング装置、真空ポンプ

■使用上の注意点、留意点 軸受の包装は、使用直前に開封してください。 軸受の長期間の保存は避けてください。 油分・水分を付着させないでください。 適用範囲（許容荷重と温度）の目安は、カタログを参照してください。 許容荷重および許容回転数は、カタログを参照してください。 ラジアル内部すきま減少による回転不具合を防ぐため、軸受荷重、湿度、軸・ハウジング材料（線膨張係数）を考慮したはめあいとしてください。 クリーン度は、使用条件・周囲の構造等によって異なります。 カタログに記載されている性能値や表現は、軸受選定の目安となるもので保証値ではありません。

■特長 長寿命のＭｏＳ２系自己潤滑保持器材を使用。 従来方式の固定潤滑軸受に比べて１０倍以上の長寿命（寿命推定可能） 従来の銀被膜品と同等の低発塵、低アウトガス。 大気〜真空（１０−７Ｐａ）まで対応。

■性能 　●耐久性 　　従来方式の真空軸受と比較して、１０倍以上の耐久性があります。 　●ウェハ搬送用真空ロボットの実ラインでの発塵試験結果 　　従来方式の真空軸受と比較して、同等か優れています。 　●アウトガス特性 　　従来品（銀被膜）と同等に、高質量数領域のアウトガスがありません。

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