外内輪を特殊チタン合金、玉をセラミックス製として完全非磁性（比透磁率１．００１以下）を実現した軸受です。
大気〜真空の非磁性用途に適します。
受注生産品。 |
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■製品仕様
| 構造 |
開放形のみ |
| 仕様 |
外内輪 |
特殊チタン合金 |
| 玉 |
窒化けい素セラミックス |
| 保持器 |
ふっ素樹脂 |
| 潤滑 |
固体潤滑（ふっ素系） |
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■使用環境
大気、真空環境（〜１０-6Ｐa）、非磁性（比透磁率１．００１以下）、腐食環境 |
■用途
電子ビーム描画装置、電子ビーム露光装置、検査装置 |
■使用上の注意点、留意点
- 腐食環境にも適用できます。
- 導電性も対応できます。
- 軸受の包装は、使用直前に開封してください。
- 適用範囲（許容荷重と許容ｄｍｎ値）の目安は、カタログを参照してください。
- カタログに記載されている性能値や表現は、軸受選定の目安となるもので保証値ではありません。
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■特長
- ふっ素系固体潤滑（グリースレス）。
- 比透磁率１．００１以下の完全非磁性。
- 従来の非磁性軸受（ベリリウム銅合金軸受）より高耐食。
- 従来のベリリウム銅中のベリリウムのような環境負荷物質がありません。
- 従来のベリリウム銅合金より高硬度。
- 大気〜真空（１０−６Ｐａ）まで対応。
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■性能
●従来品との比較
| 材料 |
硬さ（ＨＶ）*1) |
比透磁率 |
耐食性*2) |
特徴 |
| 特殊チタン合金 |
４５０〜５００ |
１．００１以下 |
◎ |
ＮＳＫ開発材 |
| ＳＵＳ４４０Ｃ |
６５０〜７５０ |
強磁性 |
△ |
一般ステンレス鋼 |
| 非磁性ステンレス鋼 |
４５０ |
１．０１以下 |
△ |
難削材のため高度な
加工技術が必要 |
| ベリリウム銅合金 |
３２０〜４００ |
１．００１以下 |
○ |
酸化生成物は
有害物質である |
| 窒化けい素 |
１５００ |
１．００１以下 |
◎ |
高コスト |
注 *1)：比較のためＨＶ硬さに換算表記 *2)：５種類の材料間の相対評価
●耐食性試験結果
特殊チタン合金は、ＳＵＳ６３０、ベリリウム銅合金より高耐食です。 |